DJ MicroLaminates 提供的產品是 SUEX, SUEX Plus, 以及 ADEX 系列的環氧樹脂負性光刻膠乾膜,厚度範圍在 5 微米至超過 1mm 內。乾膜很容易層壓在基板表面,並可在幾分鐘內預備使用。
SUEX / SUEX Plus / ADEX 干膜光刻膠
- 總處理時間:小於 5 分鐘
- 卓越的厚度均勻性,邊緣無光刻膠堆積
- 高熱穩定性 - 高韌性
- 無銻化學環境,無材料浪費
選擇干膜的優勢
- 無需昂貴的勻膠和烘膠設備
- 對 Fab 環境要求較低
- 整片晶圓上厚度均勻
- 無需去邊工藝
- 100% 平坦化(真空壓膜)
- 膠膜內部成份分布均勻
- 適合 UV 和 X 射線曝光
- 高透過率
- 生產過程中減少了溶劑使用
- 綠色環保