Veeco
Veeco (Cambridge Nanotech),2003年成立於哈佛大學,05年搬到Boston並生產Thermal ALD - Savannah,之後生產Plasma ALD – Fuji、大量生產ALD-Phoenix。 2017年被Veeco收購,並更新了Fiji XT。至今為止,Veeco在ALD設備已有十多年經驗,全球已安裝五百多台ALD設備。 |
美國 Veeco - TEM鍍HfO機
Veeco (Cambridge Nanotech),2003年成立於哈佛大學,05年搬到Boston並生產Thermal ALD - Savannah,之後生產Pl..
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