• 臺式設計,靈活的電極設計,改進工藝的一致性
• 工業應用計算機配Windows®系統
• GUI 圖形用戶界面與大觸屏軟件寫入Semi E95-1101和第二部分的 FDA CFR,#21 • 配驅動程式
• 自行診斷功能和圖形
• Ethernet 以太網通信
• 節能控制功能
• 備用氣體選擇
• 安裝容易,即插即用
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• 配置室可容納大批量組件處理或獨特的懸掛式導管加工各種電極 配置
• GUI 圖形用戶界面軟件符合 CFR 第21部分11和 Semi E95-1101
• 板載氣體發生器封裝選項
• 工業應用計算機配Windows®系統
• 用戶可單獨操作程序進程和維護
• 配置過程可準確控制 Lot-to-Lot. 重複性
• 通過Ethernet控制數據及進行監控
• 具即時診斷功能和警報記錄
• LCD 液晶顯示器,觸屏和鍵盤
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