Integrity

蒸發

•  　 離子源
•  　 氧含量探測器
•  　 無渣設計

•  　 批量生産
•  　 行星夾具
•  　 單向旋轉
•  　 翻轉夾具

Voyager

等離子體離子束輔助化學氣相沈積

•  　 離子源
•  　 氧含量探測器
•  　 質子交換膜(磁控)

•  　 小批量生産
•  　 研究與試驗發展
•  　 晶圓和襯底

Discovery & Discovery Isoflux

濺射

•  　 質子交換膜
•  　 雙重准直
•  　 3維樣品
•  　 圓柱形陰極，提升薄膜非均勻性至小于+/- 0.25% (Discovery Isoflux)

•  　 小批量生産
•  　 可選無預真空室
•  　 可選單襯底預真空室
•  　 可選晶圓盒預真空室

Infinity

離子束

•  　 偏壓靶濺射
•  　 偏壓襯底刻蝕

•  　 小批量生産
•  　 研究與試驗發展
•  　 可選單襯底預真空室
•  　 可選晶圓盒預真空室

Phoenix

在線設備

•  　 線性離子源
•  　 氧含量探測器
•  　 質子交換膜(線性磁控)

•  　 大批量生産
•  　 大面積襯底
•  　 預真空室
•  　 磁控濺射&等離子體離子束輔助化學氣相沈積

Versa

組合設備

•  　 自動化
•  　 襯底操縱
•  　 混合模式

•  　 大批量生産
•  　 晶圓&小面積襯底
•  　 預真空室
•  　 磁控濺射&等離子體離子束輔助化
•  　 專利性的離子束沈積與刻蝕技術